삼성SDI, 반도체 미세공정용 SOH 강화…식각 저항성·평탄화 높인다

인공지능(AI)과 자율주행, 고성능 컴퓨팅(HPC) 확산으로 반도체 회로가 더욱 미세화·다층화되면서 식각 과정에서 패턴을 안정적으로 유지하는 공정 소재의 중요성도 커지고 있다. 삼성SDI는 이러한 수요에 대응해 SOH(Spin-On Hardmask)의 식각 저항성과 막강도, 고두께 형성, 평탄화 성능을 강화한 제품 포트폴리오를 확보하고 있다고 밝혔다.SOH는 반도체 회로를 만드는 식각 공정에서 사용하는 코팅 소재다. 액체 상태의 소재를 웨이퍼 위에 떨어뜨린 뒤 회전시켜 고르게 도포하는 ‘스핀 코팅’ 방식으로 막을 형성한다.주요 역할